猛撞h花液h强占人妻,7777精品久久久久久久,大鷄巴久久久久久久久久

您所在的位置：食品機械設(shè)備網(wǎng)>技術(shù)首頁>技術(shù)交流

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您？在線咨詢

光刻膠處理中的四大烘烤工藝之——HMDS烤箱預烘烤

來源：上海雋思實驗儀器有限公司 2025年08月20日 10:42 40

　　光刻膠處理中的四大烘烤工藝——基板預烘烤、軟烘、曝光后烘烤與硬烘

　　涂膠前的烘烤

　　構(gòu)建牢靠的膠基結(jié)合

　　基板表面處理是光刻膠附著的首要環(huán)節(jié)。當溫度升至100°C時，基材表面吸附的水分子(H?O)開始脫附，這一過程能有效消除“水膜屏障”，避免光刻膠與基板間因水分殘留導致的結(jié)合力下降。硅、玻璃、石英等氧化表面的羥基(-OH)會導致親水性表面，降低光刻膠附著力，而溫度進一步升至150°C以上時，羥基(-OH)會發(fā)生熱裂解反應(yīng)，從而進一步提升光刻膠與基板的結(jié)合力。

　?、?低溫段推薦120°C烘烤3-5分鐘，高溫段需避免過久導致基板氧化加劇。

　　②使用上海雋思HMDS烤箱HMDS增粘劑預處理可達到類似高溫烘烤的效果。

　?、?涂膠應(yīng)在基板冷卻后立即進行以防止水分再吸附，但需確?；寤謴褪覝匾员ＷC膠膜均勻性。

　　HMDS烤箱預烘烤工藝

　　HMDS烤箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、碳化硅/硫化鋅/磷化銦/生物晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫氣相沉積在襯底表面。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)樗?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

　　可以很好地改善光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕等煩惱。

上一篇：內(nèi)盤管反應(yīng)釜的工作原理了解一下

下一篇：測試各種瓶子垂直度偏差性能的方法

版權(quán)與免責聲明： 凡本網(wǎng)注明“來源：食品機械設(shè)備網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-食品機械設(shè)備網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：食品機械設(shè)備網(wǎng)www.hylfur.com”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。

本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非食品機械設(shè)備網(wǎng)www.hylfur.com）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。

上海雋思實驗儀器有限公司

進入展臺在線留言