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高溫無氧烤箱在低介電常數BCB樹脂的固化工藝中的操作方法

來源：上海雋思實驗儀器有限公司   2025年08月21日 09:57   14



低介電常數BCB樹脂的固化方法，具體步驟如下:
1:在半導體芯片表面涂覆一層粘附劑;
2:通過旋轉方式在半導體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹脂，接著將涂覆好BCB樹脂的半導體芯片放入高溫無氧烤箱中，并通入氮氣保護;
3:加熱高溫無氧烤箱，使涂覆BCB樹脂的半導體芯片達到一溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑分布均勻;
4:再將加熱無氧烤箱升高到一第二溫度，穩(wěn)定一段時間，使BCB樹脂中的溶劑充分揮發(fā);
5:再將加熱無氧烤箱升高至一第三溫度，穩(wěn)定一段時間，在半導體芯片表面形成低介電常數的樹脂薄膜;
6:高溫無氧烤箱降溫至100度以下；
7：關氮氣，取出產，完成固化工藝。




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