技術(shù)交流 技術(shù)方案 采購指南 話題討論 維修保養(yǎng) 資料下載 企業(yè)案例 會員報道
您所在的位置：食品機械設(shè)備網(wǎng)>技術(shù)首頁>技術(shù)交流
HMDS烘烤箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)等。半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長時間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的，因此對光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性，可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上，需要HMDS烘烤箱來處理。
HMDS烘烤箱處理的優(yōu)勢HMDS是蒸發(fā)鍍膜，涂布厚度佳、均勻性好。旋涂式涂布厚度較厚，烘烤過程中有氨氣釋放，導(dǎo)致一些不利情況出現(xiàn)。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非食品機械設(shè)備網(wǎng)www.hylfur.com）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任。
手機站
微信小程序
Foodjx公眾號
Foodjx APP
QQ：1369114730QQ：461243178QQ：2856177234QQ：3311374364 QQ：1369114730
浙公網(wǎng)安備 33010602000101號
