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2、設(shè)備型號

 JS-HMDS90-AI/MES

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制

3.2 材質(zhì)

外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L級不銹鋼

3.3 溫度使用范圍

80-200℃

3.4 溫度分辨率

0.1℃

3.5 溫度波動度

≤±0.5

3.6 真空度

≤133pa（1torr）

3.7 潔凈度

設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ       總功率約3.5KW    

3.9 控制儀表

人機界面

3.10擱板層數(shù)

2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥液添加量

3.12真空泵

無油渦旋真空泵

3.13 保護裝置

HMDS藥液泄漏報警裝置，HMDS低液位報警提示，超溫保護，漏電保護等。