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鍍膜儀的幾大常見鍍膜方式分享

來源：上海進(jìn)與科學(xué)儀器有限公司   2025年08月28日 09:58   69
 　　鍍膜儀是一款多功能型高真空鍍膜系統(tǒng)，用于制備超薄，細(xì)顆粒的導(dǎo)電金屬膜和碳膜，以適用于FE-SEM和TEM超高分辨率分析所需的鍍膜要求。這一款全自動臺式鍍膜儀，包含內(nèi)置式無油真空系統(tǒng)、石英膜厚監(jiān)控系統(tǒng)和馬達(dá)驅(qū)動樣品臺。
　　鍍膜儀常見的幾個真空鍍膜方式如下：
　　1.磁控濺射鍍膜
　　磁控濺射是一種常用的真空鍍膜技術(shù)，它利用磁場將靶材料離子化并沉積在基底表面上。這種技術(shù)可用于制備金屬、合金、氧化物、硝化物等多種材料的薄膜。該技術(shù)具有高沉積速率、較好的均勻性和附著力等優(yōu)點。
　　2.熱蒸發(fā)鍍膜
　　熱蒸發(fā)是一種常用的真空鍍膜方法，它通過加熱固態(tài)材料使之升華并沉積在基底表面。這種方法適用于制備高純度金屬、合金、無機化合物、有機材料等各種薄膜。該技術(shù)具有沉積速率快、成本低廉等優(yōu)點，但對材料的熔點、壓力等參數(shù)要求較高。
　　3.電弧離子鍍膜
　　電弧離子鍍膜是一種真空鍍膜技術(shù)，它利用高能電弧放電將靶材料離子化并沉積在基底表面上。該技術(shù)適合于制備金屬、合金等各種金屬材料的薄膜。這種方法具有沉積速率快、附著力好等優(yōu)點，但需要較高的操作技能和設(shè)備成本。
　　4.化學(xué)氣相沉積（CVD）鍍膜
　　化學(xué)氣相沉積是一種真空鍍膜技術(shù)，它利用氣態(tài)前體分解反應(yīng)在基底表面上形成薄膜。該技術(shù)適用于制備無機、有機材料以及復(fù)合材料等各種類型的薄膜。該方法具有沉積速率較快、成膜溫度低、均勻性好等優(yōu)點，但對前體氣體質(zhì)量、反應(yīng)條件等參數(shù)要求較高。
　　綜上，不同的真空鍍膜方式適用于不同類型的材料和應(yīng)用需求。在選擇鍍膜方式時，還需考慮諸如成本、工藝難易度、沉積速率、膜質(zhì)量等因素。
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