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真空旋轉涂膜機在選購時需要注意哪些因素？

來源：森瑪特儀器（北京）有限公司   2025年07月29日 08:33   16
　　真空旋轉涂膜機即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
　　針對目前旋轉涂膜機市場品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事旋轉涂膜機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
　　從其原理來說，我們可以看出選購真空旋轉涂膜機需要注意的幾個細節(jié)“
　　1、 旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些旋轉涂膜機只能提供轉速范圍，并不能**標定實時的轉速。進口的旋轉涂膜機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。建議購買轉速控制方面有國際認定標準的，比如：美國NIST標準等。
　　2、 真空吸附系統(tǒng)的構造
　　真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過國產旋轉涂膜機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的旋轉涂膜機做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。
　　3、 材質的選擇
　　對于半導體化工行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分旋轉涂膜機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
關鍵詞：真空泵
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