亚洲熟女综合久久29p-日韩乱码一区二区三区-黑人大吊干日本女人的小逼-欧美高潮射精视频在线

移動端

您所在的位置：食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)>技術(shù)首頁>技術(shù)交流

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您？ 在線咨詢

靶材的一些改進(jìn)設(shè)計研究簡析

來源：上海進(jìn)與科學(xué)儀器有限公司   2025年08月28日 10:12   30
 　　靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單的說，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的破壞效應(yīng)。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
　　將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能全屏蔽磁場，一部分磁通將靶材飽和，其余的磁通將從靶材表面通過，達(dá)到磁控濺射的要求。這種方法的缺點是靶材的使用壽命過短，同時靶材的利用率很低。而且薄片靶材的另一個缺點是濺射工作時，靶材的熱變形嚴(yán)重，往往造成濺射很不均勻。
　　對鐵磁性靶材進(jìn)行改進(jìn)設(shè)計在靶材表面刻槽，槽的位置在濺射環(huán)兩側(cè)。這種設(shè)計的靶材適用于具有一般導(dǎo)磁率的鐵磁性靶材，例如鎳。但對具有高導(dǎo)磁率的靶材料效果較差。雖然靶材的這種改進(jìn)增加了靶材的成本，但這種措施無需對濺射陰極進(jìn)行改動，能在一定程度上滿足濺射鐵磁性材料的需求。
　　增強(qiáng)濺射陰極磁場的另一種方法是采用高強(qiáng)磁體，通過強(qiáng)磁場飽和更厚的鐵磁性靶材得到靶材表面需要的濺射磁場強(qiáng)度。但是高強(qiáng)磁鐵的價格昂貴，同時采用這種方法增加靶材厚度的效果有限，而且由于強(qiáng)永磁體大小不能改變，這種方法會引起嚴(yán)重的等離子體磁聚現(xiàn)象。等離子體磁聚現(xiàn)象的產(chǎn)生使濺射區(qū)靶材很快消耗完而不能繼續(xù)濺射，從而造成靶材利用率很低。采用電磁線圈來產(chǎn)生高強(qiáng)磁場，通過調(diào)節(jié)電磁線圈的電流控制磁場大小來抑制等離子體磁聚。但這種方法的磁場裝置復(fù)雜而且成本高，同時電磁線圈還受到濺射陰極尺寸的限制，從而使電磁場的強(qiáng)度受到限制，導(dǎo)致鐵磁性靶材的厚度增加有限。
　　還可用永磁體與電磁體復(fù)合的方法解決等離子體磁聚的問題，在不同的濺射過程中調(diào)節(jié)電磁線圈，以產(chǎn)生大小合適的電磁場。
版權(quán)與免責(zé)聲明： 凡本網(wǎng)注明“來源：食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)www.hylfur.com”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。

本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)www.hylfur.com）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。

浙公網(wǎng)安備 33010602000101號